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產品介紹:碳化硅舟(光伏級)結構穩定,材料熱穩定性能好,高溫使用不變形,(半導體級)材料純度高,具有高純度基體和碳化硅薄膜,避免了雜質引入,減少了工藝制程中對設備環境的污染,有效提高產品品質。
主要特點:
碳化硅舟(光伏級)結構穩定,材料熱穩定性能好,高溫使用不變形,(半導體級)材料純度高,具有高純度基體和碳化硅薄膜,避免了雜質引入,減少了工藝制程中對設備環境的污染,有效提高產品品質。
應用范圍:
適用于光伏設備、半導體設備中晶圓的關鍵承載部件。
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