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產品介紹:主要特點:碳化硅懸臂槳性能穩定,在高溫環境下不變形,晶圓裝載量大,耐急冷急熱,熱膨脹系數小,使用壽命長,極大的延長了設備維護清洗周期,并大幅減少污染物。應用范圍:反應燒結碳化硅懸臂槳是光伏及半導體晶圓裝載系統的關鍵部件。
主要特點:
碳化硅懸臂槳性能穩定,在高溫環境下不變形,晶圓裝載量大,耐急冷急熱,熱膨脹系數小,使用壽命長,極大的延長了設備維護清洗周期,并大幅減少污染物。
應用范圍:
反應燒結碳化硅懸臂槳是光伏及半導體晶圓裝載系統的關鍵部件。
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